Компания King's Laser продемонстрировала стекло TGV с оптимизацией травления на выставке LPC 2026

Шэньчжэнь, Китай - 10 сентября 2026 - компания King's Laser выступила на 20-й Национальной конференции по лазерной обработке (LPC 2026) в Шэньчжэне, чтобы поделиться последними достижениями в своей программе TGV (Through-Glass Via)-лазерно-индуцированного травления отверстий. Директор процесса Рэй Ма выступил с основным докладом на специальной сессии.«TGV через технологию, обеспечивающую усовершенствованную упаковку»,подробное описание того, как пикосекундные и фемтосекундные ультракороткие-импульсные лазеры в сочетании с мокрым-химическим травлением (LIDE) могут создавать стеклянные переходные отверстия с высоким-аспектным-отношением на кварцевых подложках для полупроводниковых корпусов следующего-поколения.

Разговор был сосредоточен на явной проблеме промышленности: в то время как усовершенствованная упаковка 2,5D и 3D стремится к более мелкому шагу, более высокой плотности ввода-вывода и более жестким тепловым бюджетам, традиционное механическое сверление и CO₂-лазерная абляция с трудом сочетают конусность отверстия, качество поверхности и производительность на стеклянных промежуточных устройствах. King's Laser позиционирует свою сверхбыструю платформу лазерной микрообработки -, которая уже используется для депанелизации печатных плат, сверления керамики и изготовления микрофлюидных чипов -, как готовое решение для этапа TGV.

LPC 2026, организованный Комитетом по лазерной обработке Китайского оптического общества и CIOE, сосредоточился на трех стратегических направлениях:

1. «Лазер + искусственный интеллект для точного производства»- замыкает цикл между оптическими источниками, управлением движением и встроенным интеллектуальным процессом.
2. «Прецизионное лазерное производство для центров обработки данных с жидкостным-охлаждением»-, где стеклянные подложки TGV становятся ключевым строительным блоком для высокочастотных холодных пластин и переходников с низкими-потерями.
3. «TGV через технологию, обеспечивающую усовершенствованную упаковку»- Ведущий технический курс мероприятия, посвященный лазерным источникам, инструментам и химическим процессам для стеклянных промежуточных устройств.

Сопредседателями заседания были-профессор Чжан Цинмао (Южно-Китайский педагогический университет), профессор Тан Сяхуэй (Университет науки и технологий Хуачжун) и Ван Цзянган (заместитель генерального директора HGTECH Laser и руководитель бизнес-группы Precision Business Group HGTECH). На этом фоне в презентации Рэя Ма была обозначена роль King's Laser как партнера по технологическому-оборудованию, а не просто поставщика инструментов -, и это различие становится все более важным, поскольку клиенты, занимающиеся продвинутой-упаковкой, требуют совместных-разработанных рецептов, а не только машин.

Рэй Ма провел аудиторию по двум взаимосвязанным направлениям исследований, которые вместе определяют полное окно процесса TGV:

1. Механизм модификации,-индуцированный лазером- как количество импульсов, числовая апертура (ЧА), энергия импульса и глубина фокуса изменяют форму измененной области внутри кварцевого стекла. Настройка этих параметров позволяет King's Laser точно локализовать модификацию, что делает возможным селективное влажное травление в дальнейшем.
2. Контроль мокрого-химического травления- как химия травления (кислотная или щелочная), концентрация, температура и физическая-полевая поддержка (ультразвуковая, мегазвуковая, вакуумная-инфильтрация) формируют конечный результат через морфологию. Совместная-оптимизация зоны модификации и ванны травления обеспечивает приемлемую конусность и шероховатость боковин для усовершенствованной упаковки.

Для отраслевой аудитории, уже знакомой с нашим обзором прецизионной лазерной обработки, это та же самая инженерная дисциплина, которая применяется к более требовательной основе и более узкому технологическому окну. В докладе также упоминалось наше более широкое портфолио микро/нано -, которое можно увидеть во всех нашихЛиния прецизионного микро/нано оборудования King's Laser- чтобы подчеркнуть, что TGV — это приложение единой согласованной платформы, а не одноразовый-инструмент.

Первая половина разговора была посвящена тому, что происходитвнутристекло во время лазерного прохода. Компания King's Laser провела анализ параметров четырех переменных:

• Подсчет импульсов и перекрытиеконтролировать совокупную плотность энергии и геометрию модифицированной колонны.
• Числовая апертура (NA)чтобы сбалансировать глубину фокуса и размер пятна -, более высокая числовая апертура увеличивает резкость модификации за счет рабочего расстояния.
• Импульсная энергияоставаться выше порога модификации, не переходя в режим абляции, который может повредить входную поверхность.
• Фокусная глубиначтобы расположить модифицированный воксель точно в плоскости z-, по которой должно следовать нисходящее травление.

Для инженеров, уже выбирающих между пикосекундными и фемтосекундными источниками для аналогичных работ, наша предыдущая работа поФемтосекундное и наносекундное лазерное микросверление-и чем больше приложения-ориентированыФемтосекундное лазерное микро-сверление молибденаобъяснить более общие правила проектирования. Расширение TGV по существу использует ту же самую логику, примененную к прозрачной, хрупкой подложке -, где даже незначительные изменения между импульсами-к-импульсам могут изменяться в зависимости от качества на порядки.

Именно поэтому King's Laser продолжает инвестировать в библиотеки рецептов для соответствующих микро-заданий. НашФемтосекундная лазерная обработка отверстий-ограничителей воздушных подшипниковпрограмма, например, выполняет тысячи переходов в день на производственных линиях и использует одну и ту же магистраль управления процессом-с пилотом TGV.

Вторая половина перешла от фотоники к химии -, где фактически возникает большинство сбоев в процессах TGV. Данные Рэя Ма показали, что:

• Выбор травителя(Кислотные системы на основе HF-по сравнению с щелочными системами на основе KOH-) определяют селективность травления между модифицированным и немодифицированным стеклом. Неправильный выбор может привести либо к недостаточному-протравливанию (оставив измененный столбец на месте), либо к -перевытравливанию (закруглению переходного отверстия и расширению сужения).
• Концентрация и температураконтролировать скорость травления и шероховатость боковины; оба должны быть настроены в соответствии с профилем модификации с первого шага, а не независимо.
• Физическая-помощь на местах- в первую очередь ультразвуковое и мегазвуковое перемешивание - улучшает обмен травителя внутри отверстий с высоким-аспектом-отверстий и уменьшает эффект "узкого места", который приводит к образованию конических отверстий или отверстий в форме песочных часов-.

Практический вывод: доходность TGV — это проблема совместного-проектирования. Лазерный проход определяетгдетравление может пройти; травление определяеткакпереход заканчивается. King's Laser поставляет обе половинки как согласованную пару, что представляет собой коммерческую модель, отличную от продажи лазерного инструмента и химической ванны по отдельности. Та же комбинированная логика -модификации-и-травливания отображается в нашемПреимущества фемтосекундных лазеров при обработке микро-отверстий для прецизионных клапановпрограмма, где качество пластины клапана- является решающим фактором между хорошей деталью и бракованной.

Покупателям, сравнивающим поставщиков TGV, следует задать вопрос: может ли ваш поставщик совместно-оптимизировать лазерный проход и химию травления, или же он передает вам две детали и ожидает, что ваша технологическая группа их объединит?

Стеклянные интерпозеры больше не являются предметом научных исследований. Они включены в планы по созданию-памяти с высокой пропускной способностью, интеграции чиплетов и подложек холодных-пластин внутри контуров жидкостного охлаждения AI-сервера-. Причины сводятся к трем измеримым преимуществам по сравнению с органическими и кремниевыми прокладками:

1. Диэлектрические характеристикиСтекло - имеет меньший тангенс потерь, чем органические подложки на высоких частотах, что напрямую приводит к более высокой целостности сигнала на скоростях передачи данных в несколько-ГГц.
2. соответствие CTE- ЭТП стекла можно настроить на кремний, что снижает термомеханические нагрузки на сквозные-переходные отверстия и повышает надежность-уровня корпуса.
3. Плоскостность и шероховатость поверхности- Стекло можно отполировать до шероховатости, состоящей из -значных-нанометров, что крайне важно для литографии RDL с мелким-шагом.

Загвоздка в том, что ни одно из этих преимуществ не имеет значения, если сами переходные отверстия конические, шероховатые или непостоянные. Качество процесса TGV -, а не химия стекла -, является решающим фактором. Именно тамПрименение фемтосекундной лазерной технологии в производстве микрожидкостных чиповсценарий пересекается с упаковкой: в микрофлюидных чипах та же самая цепочка лазерного-затем-травления уже превратилась в повторяемый и масштабируемый процесс. TGV — следующая остановка на той же кривой.

Покупателям за пределами мира-упаковки чипов технология стекла-через также видна в смежных областях применения: скрайбировании солнечного перовскита (см. нашу страницу «Оборудование для лазерного скрайбирования перовскитных солнечных элементов»), полупроводниковых керамических подложек (см.Сверление полупроводниковой керамики: микро-отверстия, глубокие отверстия и полировка) и даже подготовку поверхности-корпуса аккумулятора (см.Лазерное текстурирование поверхности корпусов аккумуляторных элементов перед УФ-покрытием) - все они построены на одной и той же сверхбыстрой-лазерной платформе.

LPC 2026 завершился тем, что компания King's Laser подтвердила долгосрочную- приверженность развитию процессов TGV, запланировав три направления работы:

• Более высокое-соотношение сторон-за счет стеков- выходит за пределы текущих экспериментальных ограничений в сторону глубины в несколько-сот-микронов, необходимой для интерпозеров из 3D-стекла.
• Встроенная метрология и управление процессами с помощью-ИИ- замыкает цикл между оптическим-мониторингом выбросов, датчиками травления-химического состава ванны и выбором рецепта.
• Совместная-разработка с заказчиками упаковки- переход от продажи инструментов к продаже квалифицированных инструментов с помощью-рецептов формирования.

Для потенциальных клиентов, оценивающих сверхбыстрое лазерное оборудование для микро-переходных отверстий, стеклянных переходников или расширенных-программ упаковки, следующим шагом является проверка процесса-окна на соответствие вашей конкретной стеклянной подложке с точки зрения геометрии и целевых показателей надежности последующих этапов. Обратитесь к команде инженеров King's Laser, предоставив технические характеристики подложки и заданные размеры, и мы проведем пробную-оценку процесса на нашей пилотной линии.

О ЛПК 2026

10 сентября 2026 года в Шэньчжэне состоялась 20-я Национальная конференция по лазерной обработке (LPC 2026), организованная совместно Комитетом по лазерной обработке Китайского оптического общества и Китайской международной оптоэлектронной выставкой (CIOE). На конференции основное внимание уделялось конвергенции лазерных технологий с искусственным интеллектом, современным полупроводниковым корпусам и инфраструктуре центров обработки данных с жидкостным-охлаждением-.

О Королевском лазере

Компания Wuhan King's Laser Co., Ltd. поставляет сверхбыстрые лазерные системы микрообработки, платформы для волоконной лазерной сварки, машины для импульсной лазерной очистки и оборудование для маркировки CO₂/волоконного/УФ-лазера промышленным заказчикам в более чем 60 странах. Портфолио компании по прецизионной лазерной обработке микро-/нано-технологий охватывает депанелизацию печатных плат/FPC, сверление полупроводниковой керамики, обработку фемтосекундных микро-отверстий, скрайбирование перовскитом и сквозное формование TGV.